中国有几台光刻机 国产光刻机水平怎么样？

日前根据媒体的相关报道，荷兰半导体设备供应商ASML已经停止了供应光刻机给中芯国际，该消息也是引起了各方关注。作为芯片制造的核心设备之一，中国目前有几台光刻机呢？国产光刻机的水平又是怎样的？

去年5月16日，日经亚洲评论报道称，中芯国际向国际半导体设备大厂ASML下单了一台价值1.2亿美元的EUV（极紫外线）光刻机，预计将于2019年初交货。中芯国际去年就已宣布预研7nm工艺制程，若报道所称的EUV光刻机订单实现，也意味着国产7nm工艺制程有望早日到来。

ASML中国区总裁金泳璇今年年初曾透露，已有大陆晶圆厂巨头与ASML展开7nm工艺制程的EUV订单洽谈，2019年大陆首台EUV可望落地，并表示对在中国客户装入中国第一台EUV光刻机，抱持乐观的期待。如今看来，当时所提及的晶圆厂应该就是中芯国际。

在中芯国际订购EUV消息后，紧接着又出现一则关于光刻机的新闻。5月19日，国内多家媒体报道称，长江存储迎来其第一台光刻机，如今该光刻机已运抵武汉天河机场，待相关手续办理完成后运至工厂。

据悉，这台光刻机同样来自ASML，为193nm浸润式光刻机，售价7200万美元，用于14nm~20nm工艺，这侧面透露了长江存储3DNAND闪存芯片的工艺制程，也意味着长江存储闪存芯片量产在即。据报道，4月11日长江存储的芯片生产机台已正式进场安装，按照规划将于去年底进行试产。

5月21日，由华虹集团旗下上海华力集成电路制造有限公司建设和营运的12英寸先进生产线建设项目（华虹六厂）实现首台工艺设备光刻机搬入，该设备是来自ASML的NXT1980Di光刻机，为目前中国大陆集成电路生产线上最先进的浸没式光刻机。

华力12英寸先进生产线建设项目是上海市最大的集成电路产业投资项目，如今较原计划进度提前1个月实现首台光刻机搬入，意味着该项目提前取得了阶段性成果，未来五个月内该厂工艺设备将集中搬入并完成安装调试，计划年底前完成生产线串线并实现试流片。无论是中芯国际的EUV订单、长江存储首台光刻机运抵或是华虹六厂首台光刻机搬入，都代表着三家半导体企业在芯片领域取得进展。

国内研发光刻机相关的企业有上海微电子装备有限公司（以下简称“上海微装”）、中国电子科技集团公司第四十五研究所、合肥芯硕半导体有限公司、先腾光电科技有限公司、无锡影速半导体科技有限公司，其中上海微装发展最为领先，是中国唯一一家生产高端前道光刻机整机的公司，从某种意义上可以说其代表着国产光刻机技术水平。

上海微装成立于2002年，其生产的光刻机包括晶圆制造、IC封装、面板、LED等，其中封装光刻机在国内市场已占据不小的份额，这是国产光刻机取得的进步。然而在代表着光刻机技术水平的晶圆制造光刻机方面，上海微装目前可生产加工90nm工艺制程的光刻机，这是目前国产光刻机最高水平，而ASML如今已量产7nm工艺制程EUV光刻机，两者差距不得不说非常大。

由此可见，以上这三台光刻机都是从国外进口的，目前全球仅有ASML、佳能、尼康等少数几家厂商掌握着光刻技术，而高端光刻机领域几乎是被荷兰半导体设备供应商ASML所垄断了，当前我国光刻机技术水平是远远落后国际一流水平的。